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上海茂竺电子科技有限公司
联系人:马兆涛 先生 (经理)
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超高纯不锈钢材料

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    上海茂竺(上海茂索)的特气设备有特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶柜),气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气体配比箱(Gas Box by Flow Meter),阀门箱(VMB),阀门盘(VMP),气体侦测器(Gas Detector),废气处理器(Scrubber)以及化学品供应机台(CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。

上海茂竺(上海茂索)公司还提供特气设备的安装服务、特气系统的二次配管及化学品供应机台的安装、化学品供应管道的配管等高洁净要求的业务。

从日本、欧美等发达国家进口的电子级材料,如EP级 (BA级、AP级)不锈钢管道(Tube,SS316L,SS316,SS304,或称电子级管道、超高纯管道),隔膜阀(Diaphragm Valve), 减压阀(Regulater,或称调压阀),过滤器(filter,0.003μm),fitting(Gland ,Tee …)等等超高纯特殊气体系统中必需采用的各类零部件。英制尺寸标准。

公司标签:特气,钢瓶柜,阀门,电子级,电子特气,隔膜阀,调压阀,EP,BA,不锈钢,洁净管道,316L,304,过滤器,高压金属软管,压力表,钢瓶接头,真空系统,MOCVD,PECVD,钢瓶柜,超高纯,特殊气体,太阳能电池,LED,SEMICON,半导体,

详细规格可以来电/电邮咨询。

公司介绍:上海茂竺(上海茂索)高端技术支持服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的材料部件(隔膜阀、EP(BA)管道等)以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS CABINET) 、阀门箱(VMB)]。

上海茂竺(上海茂索)主要服务于以下行业:

高亮度发光二极管外延HB-LED: 主要工艺设备 MOCVD(AIXTRON,Thomas Swan,VECCO)

有机发光二极管OLED: PECVD, 溅射台,蒸发台OLED台,OTFT台,

太阳能电池:主要工艺设备 PECVD

硅外延:外延炉

微机电系统MEMS:主要工艺设备RIE,LPCVD,ICP,等离子清洗机,溅射机等

医药及生物芯片:

平面及等离子显示器:

化工:

其他材料薄膜研究:主要工艺设备APCVD,LPCVD,MBE ,HVPE.

特气设备及洁净部件(特气钢瓶柜、阀门箱)主要用于控制超高纯特殊气体,电子特气包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、 氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、 氯气CL2、氯化氢气体HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。

 
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